معرفی تکنولوژی پوشش تبخیر خلاء

فناوری پوشش تبخیر خلاء سازندگان دستگاه های پوشش خلاء شامل پوشش تبخیر مقاومتی، پوشش تبخیر پرتو الکترونی، پوشش تبخیر پرتو لیزر، پوشش تبخیر حرارتی القایی با فرکانس بالا و غیره می باشد. جدول زیر ویژگی های چندین فناوری پوشش تبخیری را فهرست می کند.

1. آبکاری تبخیر مقاومتی: منبع تبخیر مقاومتی برای تبخیر مواد با نقطه ذوب پایین مانند طلا، نقره، سولفید روی، فلوراید منیزیم، تری اکسید کروم و غیره استفاده می شود.

2. آبکاری تبخیر پرتو الکترونی: پس از تبخیر و تبخیر مواد فیلم توسط گرمایش پرتو الکترونی، این یک روش گرمایش مهم در فناوری تبخیر خلاء برای متراکم شدن و تشکیل یک فیلم بر روی سطح بستر است. انواع مختلفی از این دستگاه ها وجود دارد. با کاربرد گسترده فناوری لایه نازک، نه تنها الزامات مربوط به انواع غشاها متنوع است، بلکه الزامات کیفیت غشاها نیز سختگیرانه تر است. تبخیر مقاومتی دیگر نمی تواند نیازهای تبخیر برخی از فلزات و غیر فلزات را برآورده کند. منبع گرمایی پرتو الکترونی می تواند چگالی انرژی بسیار بیشتری نسبت به منبع گرمای مقاومت به دست آورد، و مقدار آن می تواند به 104-109w/cm2 برسد، بنابراین فیلم می تواند تا 3000-6000c گرم شود. این منبع حرارتی بهتری برای تبخیر فلزات نسوز و مواد غیر فلزی مانند تنگستن، مولیبدن، ژرمانیوم، SiO2، AI2O3 و غیره فراهم می‌کند. مواد ظرف و واکنش بین مواد ظرف و مواد فیلم را می توان اجتناب کرد، که برای بهبود خلوص فیلم بسیار مهم است. علاوه بر این، گرما را می توان به طور مستقیم به سطح مواد فیلم اضافه کرد، بنابراین راندمان حرارتی بالا است، و هدايت گرما و تلفات تابش گرما کم است.

3. آبکاری تبخیر گرمایش القایی با فرکانس بالا: فلز با استفاده از اصل گرمایش القایی تا دمای تبخیر گرم می شود. بوته حاوی مواد فیلم را در مرکز سیم پیچ مارپیچی (غیر تماسی) قرار دهید و یک جریان با فرکانس بالا را از سیم پیچ عبور دهید، که می تواند باعث شود مواد فیلم فلزی جریانی ایجاد کند تا خودش را گرم کند تا زمانی که تبخیر شود.

ویژگی های منبع تبخیر گرمایش القایی: 1) سرعت تبخیر زیاد است 2) دمای منبع تبخیر یکنواخت و پایدار است و تولید پدیده پاشش قطره آلومینیوم آسان نیست 3) منبع تبخیر در یک زمان شارژ می شود. ، هیچ مکانیزم تغذیه سیم مورد نیاز نیست، کنترل دما نسبتا آسان است، و عملیات ساده است. 4) برای فیلم، خلوص مواد مورد نیاز کمی گسترده تر است.

4. آبکاری تبخیر گرمایش قوس: یک روش گرمایشی مشابه روش گرمایش پرتو الکترونی، روش گرمایش تخلیه قوس است. همچنین دارای ویژگی های جلوگیری از آلودگی مواد گرمایش مقاوم یا مواد بوته ای است و دمای گرمایش بالا است، به ویژه برای تبخیر فلزات نسوز، گرافیت و غیره با نقطه ذوب بالا و رسانایی خاص مناسب است. در عین حال، تجهیزات مورد استفاده در این روش ساده‌تر از دستگاه گرمایش پرتو الکترونی است، بنابراین یک دستگاه تبخیر نسبتاً ارزان است.

5. آبکاری تبخیر پرتو لیزر: روش استفاده از لیزر پالسی با چگالی بالا برای تبخیر مواد و تشکیل یک لایه نازک به طور کلی تبخیر لیزری نامیده می شود.