روش اندازه گيری و نظارت بر ضخامت فيلم دستگاه پوشش خلاء مدرن

مستقیم ترین روش کنترل پوشش، روش میکروتعادل کریستال کوارتز (QCM) است که می تواند به طور مستقیم منبع تبخیر را هدایت کند، و بافل را از طریق کنترل PID چرخه کند تا نرخ تبخیر حفظ شود. تا زمانی که ابزار به نرم افزار کنترل سیستم متصل باشد، می تواند کل فرایند پوشش را کنترل کند. اما دقت (QCM) محدود است، تا حدودی به این دلیل که کیفیت پوشش در حال رسوب را زیر نظر دارد تا ضخامت نوری آن.

همچنین در حالی که QCM در دماهای پایین تر بسیار پایدار است، در دماهای بالاتر بسیار حساس به دما می شود. در طول گرمایش طولانی مدت، جلوگیری از افتادن حسگر به این منطقه حساس دشوار است و باعث خطاهای قابل توجهی در فیلم می شود.

مانیتورینگ نوری روش ترجیحی نظارت برای پوشش های با دقت بالا است زیرا اجازه کنترل دقیق تر ضخامت لایه را می دهد (در صورت استفاده مناسب). بهبود دقت از عوامل زیادی ناشی می شود، اما اساسی ترین دلیل آن نظارت بر ضخامت نوری است.

بهینه SWA- I-05 تک طول موج سیستم نظارت نوری اتخاذ اندازه گیری و کنترل غیر مستقیم، همراه با نرم افزار نظارت نوری پیشرفته توسعه یافته توسط دکتر وانگ، به طور موثر بهبود نظریه و روش حساسیت پاسخ نوری به تغییرات ضخامت فیلم برای کاهش خطای نهایی، ارائه بازخورد و یا انتخاب انتقال از حالت ها و طیف گسترده ای از طول موج نظارت. به ویژه برای نظارت بر پوشش ضخامت های مختلف فیلم از جمله نظارت بر فیلم های نامنظم مناسب است.