تجهیزات متالیزاسیون خلاء

آیا پوشش های PVD ایمن هستند؟

فرآیندهای رسوب بخار فیزیکی یک تکنیک سازگار با محیط زیست یا "آبکاری" است که مقدار مواد سمی را که باید استفاده، مدیریت و دفع شود در مقایسه با سایر فرآیندهای "مرطوب" که شامل پیش سازهای سیال و واکنش های شیمیایی مورد استفاده برای دستیابی به نتیجه مشابه است، کاهش می دهد. . از آنجا که قادر به تولید پوشش های بسیار خالص، تمیز و بادوام است، رسوب بخار فیزیکی فناوری انتخابی برای صنعت ایمپلنت های جراحی و پزشکی است.

آیا می دانید دستگاه پوشش چیست؟ عمدتاً به نوعی از پوشش اشاره دارد که باید تحت درجه خلاء زیاد انجام شود، از جمله انواع مختلفی از جمله تبخیر یون خلاء، کندوپاش مگنترون، اپیتاکسی پرتو مولکولی MBE، رسوب کندوپاش لیزر PLD و بسیاری دیگر.

سیستم خلاء شامل یک پمپ مکانیکی، یک پمپ برودتی، یک شیر خشن، یک دریچه خط مقدم، یک شیر دروازه و یک گیج خلاء برای تشخیص خلاء است. در طول کندوپاش مگنترون، تأثیر نیتروژن، اکسیژن و بخار آب بر فرآیند باید به حداقل برسد، بنابراین درجه خلاء باید کمتر از 0.13 mPa ~ 4 Pa ​​باشد. معمولاً از پمپ Nowdry و پمپ برودتی استفاده می شود. پمپ خشک برای پمپاژ خلاء کم استفاده می شود. در مقایسه با پمپ روغن مکانیکی اصلی، می تواند از ورود روغن و گاز موجود در پمپ روغن به محفظه خلاء، آلودگی بستر و کاهش چسبندگی بین فیلم و بستر جلوگیری کند. معمولاً پس از پمپاژ پمپ خشک زیر 6.5 Pa، شیر دروازه باز می شود و پمپ برودتی برای پمپاژ خلاء بالا استفاده می شود. پمپ های برودتی که با سرعت پمپاژ بالا مشخص می شوند، به ویژه توانایی حذف بخار آب بسیار قوی است.

سیستم پوشش کندوپاش متشکل از منبع تغذیه DC، مواد هدف، آب خنک کننده، آهنربای دائمی، دستگاه گرمایش زیرلایه، بافل، لایه محافظ و غیره است. این قسمت اصلی ایستگاه کندوپاش مگنترون است. منبع تغذیه DC ولتاژ بالای منفی 300-1 000 ولت را فراهم می کند و آن را به هدف اعمال می کند، به طوری که هدف در کاتد و بستر در آند قرار می گیرد. از آب خنک کننده برای خنک کردن مواد مورد نظر استفاده می شود تا از افزایش سریع دمای مورد نظر در اثر کندوپاش جلوگیری شود. خط لوله آب خنک کننده باید از مواد عایق مانند لوله های پلاستیکی ساخته شود نه لوله های فلزی. دستگاه گرمایش بستر می تواند ناخالصی هایی مانند بخار آب روی بستر را حذف کند که می تواند چسبندگی بین فیلم و بستر را بهبود بخشد. علاوه بر این، برای برخی از فلزات، دمای مناسب می تواند کیفیت فیلم را بهبود بخشد.

کاربرد

پارامتر

کارخانه ی ما

تگ های محبوب: تجهیزات متالیزاسیون خلاء، چین، تامین کنندگان، تولید کنندگان، کارخانه، سفارشی، خرید، قیمت، نقل قول